半導体製造

工程

http://www.hitachi-chem.co.jp/japanese/special/how/

基本技術

• フォトリソグラフィ

製造装置

液晶ディスプレイ(FPD)や半導体を製造で欠かせないのが、微細回路パターンの形成装置：

• スパッタ、真空蒸着装置のしくみ - サンユー電子のページ
• 露光機のしくみ - キヤノンのページ
• 露光機のしくみ - ニコンのページ
• ステッパーのしくみ - wikipediaのページ

主な装置メーカ

• ASML
• 東京エレクトロン
• ニコン
• キヤノン

位置決め

マスクパターンとウェーハーやガラス基板の位置決めは欠かせない。これらに言及している記事を列挙する。

• ウシオ電機の記事

まだまだ作成途中です。